反応焼結法を利用した低コストAlN/Alヒートシンク材料の開発

研究課題

研究責任者	坂村勝広島県立総合技術研究所, 東部工業技術センター, 副主任研究員
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	Al粉末を出発材料として、表面に高熱伝導・高放熱特性を有するAlN、内部に機械加工が可能で、かつ、熱伝導性に優れるAlを有するAlN/Al系ヒートシンク材料の開発に取り組んだ。その結果、Al焼結体の密度を上昇させるためには液相の存在が不可欠であるものの、液相の存在によりAlと窒素の反応が阻害され、窒化は抑制される傾向にあることが分かった。また、Al粉末にMgとCuを複合添加し、窒素雰囲気で、ヒートパターンに工夫を施して焼結を行うことで、相対密度95.2%で、かつ、表面にAlNを含む膜を形成することができた。当該焼結体の熱伝導率を、本事業で自作した定常法熱伝導率測定装置で測定したところ、熱伝導率は約140W/m・Kに達した。