ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の最適摺動温度の検討

研究課題

研究責任者	五十嵐昭群馬県立産業技術センター, その他部局等, 研究員
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	PBIID(RF・高電圧パルス重畳方式プラズマイオン注入・成膜)法を用いて成膜したDLC膜の耐熱性などの温度特性と摩擦挙動の関係を把握するために温度処理をした試料を用いて摩擦試験を行った。また水素含有のDLC膜の耐熱性、分解に関係すると思われる水素原子の温度変化に伴う挙動を、パルスNMRを用いてT2緩和時間を測定することで、明らかに出来ると推察し、温度変化に伴うDLC膜の運動性の変化について探索することを目標として実験を行った。