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サブnmの深さ分解能を持った軽元素の超高感度分析法の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 木村 健二  京都大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度) 2011 – 2012
概要高分解能反跳粒子検出法により、シリコン中に注入されたホウ素の深さ分布の測定を、1nm以下の深さ分解能で、0.1 at.%以下の検出感度で行うことを可能とする検出器システムと信号処理系を開発することを目標とする。これらの性能を確認するためにシリコン中にホウ素を注入した試料を準備して、高分解能反跳粒子検出法による測定を行い、その分解能と検出感度を実測で確認する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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