大口径・高結晶品質・自立AlN単結晶基板

研究課題

研究責任者	岩谷素顕名城大学, 理工学部材料機能工学科, 准教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	本研究開発では、大口径・高結晶品質・自立AlN単結晶基板の作製を目的として研究を進めている。これまでの検討で、厚膜化するとクラックが発生する問題が明らかになり、その問題点を解決するために、溝基板の検討を行った。その結果として、溝基板を用いることによってクラックの抑制が可能であることが分かった。また、複数回成長による厚膜化の検討を進めたが、SiCから分解された炭素の混入が確認され、今後の課題が残され、今後解決をめざし検討を進める予定である。