イオンビームグラフト重合の薄膜内部空孔診断への応用

研究課題

研究責任者	谷池晃神戸大学, 大学院海事科学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	イオンビームグラフト重合法を応用した金属及び高分子等の薄膜の内部診断システムの検証を行った。測定対象は薄膜内部の微小空孔、クラックであり、それらの有無の判定及びその大きさを定量化した。数種類の模擬試料を準備し、空孔の大きさが異なる場合の診断、分析ビームの貫通/非貫通の違いによる観測像の違いについて比較検討を行った。また、葉と不規則な大きさを持つ空孔を含んだ試料に対しての診断も行った結果、内部の空孔の観測ができた。診断結果に対する薄膜の表面方向の分解能を求めた。ポリエチレンに対する最大分析分解能は13、分析可能最小深さは3μmであった。アルミ箔に対する最大分析分解能は13、分析可能最小深さは2μmであった。