ワンチップ型バルク弾性波式メタノール濃度センサの開発

研究課題

研究責任者	安部隆新潟大学, 自然科学系大学院自然科学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	本研究の目的は、バルク弾性波式でその振動特性を損なわずに小型化でき、かつ汎用品の流用で安価に製造可能な新原理のメタノール濃度センサを実現することである。センササイズと分解能の関係を特別なMEMS加工なしで作製したセンサと市販品を流用し作製した発振回路を用いて明らかにした。市販品のレベルに相当する0.1 wt %以上の検知ができるセンサを30 mm^2程度の面積に小型化できることが明らかになった。また、MEMS加工を加えることで分解能をさらに改善できることを実証した。本センサは、メタノール濃度センサ以外の用途の超小型液体センサとしても期待される。