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スパッタ法を用いた赤外まで透明な酸化スズ透明導電膜の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 中尾 祥一郎  (財)神奈川科学技術アカデミー, 重点研究室透明機能材料グループ, 研究員
研究期間 (年度) 2011 – 2012
概要本研究はスパッタ法を用いて、次世代太陽電池にも十分対応できる赤外まで透明なSnO2透明導電膜を作製する事を目標とした。アナターゼ型TiO2シード層およびルチル(Ti,Nb)O2固溶体シード層を用いてSnO2薄膜の移動度改善を試みた。前者においては2倍程度の、後者においては30%の移動度の向上が見られた。現時点で得られた移動度は35~40cm^2・V^-1・s^-1程度であり、最終的な目標値の80cm^2・V^-1・s^-1の半分程度ではあるが、過去のスパッタ法による報告値10~20cm^2・V^-1・s^-1から二倍近く改善されている。更に、スパッタ法においてはドーパントの活性化が抑制されやすい事、シード層がドーパントの不活性化を解消し、70%程度の高いドーピング効率が得られる事が分かった。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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