大表面積配向カーボンナノチューブの作製とスーパーキャパシタへの応用

研究課題

研究責任者	林康明京都工芸繊維大学, 大学院工芸科学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	カーボンナノチューブ(CNT)の大面積配向成長、従来よりも直径の細いCNTを作製する技術、キャパシタ特性の評価技術について、並行して研究開発を進めた。大面積配向成長では、RF-DCプラズマCVD装置を用い、直径50nm、高さ5μm(成長15分)、密度109/cm^2のCNTを、5cm×5cmの範囲一面に配向して成長させることができた。直径の細いCNTの作製では、熱フィラメント支援球状マイクロ波プラズマCVD装置によって実験を行い、微細化された触媒金属微粒子を用いて、直径10nm以下のCNTが成長できることを確認した。また、比表面積や細孔径分布の評価技術を確立した。さらに、配向CNTを電極としたキャパシタを作製しその静電容量を評価した。