1. 前のページに戻る

立方晶SiC高速成長技術の確立

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 宇治原 徹  名古屋大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度) 2011 – 2012
概要これまでに我々は、6H-SiCの(0001)面上への溶液成長により、大面積の高品質3C-SiCの成長に成功してきたが、わずかに6H-SiCの混在がみられるという問題があった。多形変化過程を詳細に調べたところ、6H-SiC上への成長では、成長多形は過飽和度に依存し、高過飽和度では3C-SiCの二次元核成長、低過飽和度では6H-SiCのスパイラル成長が優先的に生じることを見出した。本研究ではその知見に基づき、過飽和度制御によって3C-SiCの単相を成長させることに成功し、23年度の当初目標に関しては、完全に達成した。また、24年度計画についても、温度差法による過飽和度制御、および窒素添加による3C-SiCの高温安定性の確保により、成長速度を2μm/hから24μm/hへと10倍向上させることに成功した。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst