大気圧下・水中でのナノスケールプラズマによる高精度加工技術の開発

研究課題

研究責任者	山西陽子名古屋大学, 工学部マイクロナノシステム工学専攻, 准教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	本課題では、大気中・水中での微細なプラズマ技術を利用し、薄膜等を加工できる、新規且つ安価でコンパクトな微細加工装置の開発を目標に研究開発を行った。特許申請済みの特異な電極構造により水中放電時に一列にサイズの揃ったマイクロナノスケール気泡列が発生する現象を発見し、その気泡の圧壊時に数μm程度の解像度を持つ低侵襲・高解像度加工技術を確立した。また誘電体バリア放電により大気圧・水中下で安定にプラズマ気泡を発生させることにも成功した。今後は高解像度加工を目標に電極の微細化を行い、気泡数やサイズで加工深度を制御し幅広いダイナミックレンジでの加工を可能とする新しい大気中・水中での安価な微細加工技術を完成させる。