硼珪酸ガラスを対象としたインプリント用電鋳金型の開発

研究課題

研究責任者	安井学神奈川県産業技術センター, 電子技術部, 研究員
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	有機合成の収率を著しく向上できるマイクロリアクターやバイオ・チップの高感度化などを実現するために必要な硼珪酸ガラスの微細加工技術として、熱インプリントが注目されている。そこで、本研究では硼珪酸ガラスを対象とした熱インプリント用耐熱電鋳金型の開発を行った。この耐熱電鋳金型を実現させるために、電鋳時のレジストパターンの剥離防止技術、レジストパターンの微細化技術、電鋳後のレジストパターンの剥離技術の3点を開発した。そして、目標である最小周期が10μmのパターンを有する耐熱電鋳金型を実現した。更なるパターンの微細化により、ガラス製エンコーダや局在表面プラズモン共鳴を用いたバイオ・チップなどへの応用展開が期待できる。