半導体集積回路上での局所インピーダンス計測を用いた細菌検査装置の開発

研究課題

研究責任者	中里和郎名古屋大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	本研究の目的は、半導体チップ上で高周波(1-10MHz)、局所領域(1μm-0.1μm)のインピーダンスを計測することにより、複数種類の細菌もしくはウィルスを1個ずつカウントする細菌検査装置を開発することにある。1個の細菌を捕獲するセルあたり1つのセンサ回路を設けることにより、電極の寄生容量を3桁以上低減し、個々の細菌が検出できるようにする。このための高密度・低消費電力のインピーダンス・センサアレイ集積回路を設計・試作し、基本動作を得た。スタンドアローン・プロトタイプ機としてエレクトロニクス部の設計・試作を行い20cmx20cmx20cm内に収まる見通しを得た。今後、半導体チップとフローセル流路とを一体化することにより、少量のサンプル採取・搬送の完全自動化を行う。