独自の気相濾過・転写法に基づく高性能カーボンナノチューブTFTのばらつき抑制

研究課題

研究責任者	大野雄高名古屋大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ(CNT TFT)は高い移動度と化学的安定性、柔軟性を併せ持ち、フレキシブルエレクトロニクス応用が期待されている。一方で、実用化に向けては素子特性の均一性の確保が最重要課題である。本研究では、プラスチック基板上に高移動度のCNT TFTを高速かつ簡単に実現できる独自の気相濾過・転写法を発展させ、高純度半導体CNTの高均一薄膜を実現する液相濾過・転写法を新たに確立した。その結果、オン電流としきい値のばらつきの小さいCNT TFTを得ることに成功した。今後は、分散剤除去技術や安定化技術などの材料・素子技術に加え、大面積化技術やロール・ツー・ロールプロセス適応化技術などのプロセス技術を開発し、ディスプレイなどへの応用展開を目指す。