金ナノ粒子を配列した透明基板へのレーザー照射による極限微細加工技術の開発

研究課題

研究責任者	橋本修一徳島大学, 大学院ソシオテクノサイエンス研究部, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	ガラス基板上に直径40 nmの金ナノ粒子を担持させてそれにフェムト秒レーザーを照射することにより、金ナノ粒子と同じ位置、同じ形状にナノ孔を作製することに成功した。これは、従来のナノ秒レーザー照射では実現できなかったことである。そして規則的なリソグラフィーパターンに照射することによりガラス表面に数十ナノメートルスケールの規則的な凹凸パターンが作製できるようになった。また、レーザーエネルギー密度(フルエンス)を変化させることによってナノ孔のサイズ、深さを制御することも可能となった。高分子フィルムに金ナノ粒子を用いてナノメートルの貫通孔作製は実現できなかった。