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電子誘電体の薄膜化基礎技術研究

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 池田 直  岡山大学, 自然科学研究科, 教授
研究期間 (年度) 2011 – 2012
概要電子誘電体の実用化研究の一助として、酸化鉄複電荷化合物をスパッタ法により、薄膜化する研究を行なっている。この材料は大気中において表面10nmのスケールで酸化が進行し、二価鉄と三価鉄の存在比が狂うことが判明した。薄膜試料は表面敏感になることから、アルゴン雰囲気中で試料特性を評価できる環境が整備され、薄膜試料の特性、微細加工試料の特性、フェルミ面の決定、磁場中誘電率特性の詳細が明らかになった。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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