耐酸化性にすぐれた窒化物・酸化物系ナノコンポジット超硬質保護膜の開発

研究課題

研究責任者	野瀬正照富山大学, 芸術文化学部, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	窒化物微結晶を非晶質酸化物で覆うナノコンポジット膜を、超耐酸化性+超高硬度の膜に進化させ、従来材を凌駕する保護膜を目指す。切削工具に用いられる従来の硬質膜は、窒化物膜が主流であるが、耐酸化性は不十分である。他方、アルミナ等酸化物膜は靭性に乏しい。窒化物微結晶を非晶質酸化物が覆う構造のナノコンポジット膜ができれば両者の特長を兼備した夢の保護膜が実現する。申請者が独自に開発した差動排気同時成膜技術を用いれば、窒素雰囲気と酸素雰囲気の異なる成膜雰囲気が互いに混合せずに成膜できる。これにより窒化物 + 酸化物の微細構造制御ナノコンポジット膜を作製、耐酸化性に優れた切削工具用超硬質保護膜の実現を目指す。