スプレー熱分解法による酸化亜鉛薄膜の大気作製プロセス技術の開発

研究課題

研究責任者	吉野賢二宮崎大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2011 – 2012
概要	シリコン太陽電池等に利用されているPET基板上のAg電極上に、酸化亜鉛薄膜を大気中にて低温で、スプレー熱分解法を用いて作製する。スプレー熱分解法で使用した酸化亜鉛原料は、ジエチル亜鉛をベースにした材料であり、大気中でも安定で、さらに安全に使用できるように改良したものである。得られたAg電極上の酸化亜鉛薄膜の電子顕微鏡観察及び透過率を測定することにより、平坦性及び透過性を調べた。平坦性のある透過率の高い結果が得られ、シリコン太陽電池等の変換効率向上に大きく貢献した。今後、電気的特性を向上させることにより、さらなる変換効率の向上に貢献できる。