広光波長帯域・高感度・高信頼性撮像素子の開発

研究課題

研究責任者	須川成利東北大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2013
概要	原子レベルで表面が平坦化されたシリコンを用い、波長200～1100nmの広光波長帯域で、非冷却で1光子レベルを検出可能な高い感度と、紫外光照射に対する感度劣化と暗電流増加が抑制された高い信頼性を有する、広光波長帯域・高感度・高信頼性光センサおよび撮像素子を開発します。本開発により、各種分光分析機器の検出部の高精度化・長寿命化、また紫外光を用いた高速撮像への応用が可能となります。