新しい微小プラズマ閉じ込め加熱技術を用いた高変換効率EUV光源の実証

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) シーズ育成タイプ

企業責任者	株式会社IHI
研究責任者	堀岡一彦東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2012 – (非公開)