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新しい微小プラズマ閉じ込め加熱技術を用いた高変換効率EUV光源の実証

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) シーズ育成タイプ

企業責任者 株式会社IHI
研究責任者 堀岡 一彦  東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 教授
研究期間 (年度) 2012 – (非公開)

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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