| 概要 | ダイヤモンド切削工具による超精密加工の精度向上を目指し,走査マイクロ光プローブによって,mm オーダに渡る工具刃先輪郭形状を,光の回折限界を超えたnm オーダの分解能で測定する評価技術の開発に取り組んだ.25年度は,光プローブ走査測定アルゴリズム構築に取り組むとともに,前年度開発の光プローブ光学系による刃先輪郭形状の高速機上評価について検討を進めた.加工機上においても当初の目的である測定分解能10 nm が達成できることを確認するとともに,光プローブを搭載した工作機械スライド移動と,光プローブ出力の取り込みとを同期することで,範囲2 mm × 2 mm に渡る工具形状の,全測定時間15 秒での高速評価を実現した.
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