安全な超音波非破壊検査技術の高分解能化を目指した極性反転薄膜探触子の開発

研究課題

研究責任者	柳谷隆彦名古屋工業大学, 大学院工学研究科機能工学専攻, 助教
研究期間 (年度)	2012 – 2013
合計額	1,700,000円
概要	超音波非破壊検査装置の飛躍的な高分解能化を目指して、検査用超音波探触子の高周波化に取り組んだ。具体的には異常な極性反転多層構造を持つZnO圧電膜を用いて超高周波トランスデューサ(探触子)を試作し特性を評価した。以下の3項目について検証実験を行った(➀低エネルギーイオン照射による異常極性成長のメカニズムの解明、➁高周波バイアススパッタ時のイオン照射の計測実験、➂トランスデューサの特性評価と理論予測との比較)。いずれに項目においても当初の予定どおり実験が行われ、最終的に試作した極性反転2層トランスデューサでは、2倍の高周波化を実現した。今後、超音波非破壊検査分野への事業化が期待できる。