新たな需要に対応できるナノコンポジット膜利用水素センサーの開発

研究課題

研究責任者	山口明岩手大学, 工学部マテリアル工学科, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
合計額	1,700,000円
概要	従来よりも低濃度の水素に反応する水素センサーの開発を目指して研究を行った。スパッタリング法を用い、ガラス基板上に積層構造を有する薄膜水素センサー試料を作製し、その特性を調べた。これまでに測定法を工夫することにより低濃度の水素ガスに対して感度を示すことが分かったが、本研究ではさらに低濃度の水素ガスに対する感度について調べた。まず積層構造を精密制御した試料を準備してその特性を調べ、最適な構造があることが明らかとなった。その試料について感度試験を行ったところ、従来よりも低濃度でもはっきりとした感度を示すこと、期待している需要に対応できる可能性が高いことがわかった。