低消費電力及び多成分同時測定ワンチップガスセンサ構築のための微小ガスセンサ作製技術

研究課題

研究責任者	木村康男東北大学, 電気通信研究所, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	微小酸化チタンナノチューブガスセンサの特性向上させるために、ナノチューブの壁厚の制御及び触媒金属の担持技術の開発及び検出電流の安定化を行った。ナノチューブの壁厚を小さくすることが感度及びリニアリティを向上させることがわかった。また、白金ナノ粒子の担持により10倍以上の応答速度の向上がみられた。また、水素処理が検出電流の増加及び検出電流の安定化に効果的であり、感度も低下させないことを見出した。さらに、触媒金属を担持する技術開発を行い、それが可能であることを示した。以上の結果は、微小ガスセンサの集積化は技術的に可能であることを示している。今後、担持する触媒金属の種類を増やし、他のガスや多成分測定を行っていく予定である。