機能性付加ナノ微粒子の高効率新規高周波プラズマ合成法の開発

研究課題

研究責任者	安藤晃東北大学, 工学研究科電気エネルギーシステム専攻, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	本研究は、新規高周波プラズマ生成法を用いることで、シリカナノ微粒子およびイオンドープ微粒子製造法の高性能化と多量合成法への戦略的開発を実施すること、そのために必要なプラズマ諸条件を見いだし微粒子合成法の革新的展開を図ることを目的に実施された。本研究開発では特にマイクロ波領域の高周波プラズマを用いた微粒子製造法の効率化を図り、ナノ形状のシリカ超微粒子の気相合成法としてその特性を測るとともに原料供給法及び微粒子回収法の改善を合わせて実施し、想定以上の成果を得ることが出来た。今後はこの手法を応用し、イオンドープ微粒子も含め、多様なナノ微粒子生成手法としての研究開発に展開を図る。