燃焼圧センサ用ランガサイト型圧電結晶の形状制御結晶育成用坩堝の開発

研究課題

研究責任者	横田有為東北大学, 未来科学技術共同研究センターナノテク・材料分野, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
合計額	1,690,000円
概要	本事業ではデバイス形状の結晶素子が一工程で生産可能なマイクロ引き下げ法による形状制御ランガサイト型圧電結晶の作製技術およびそれを可能とする坩堝の開発を行った。具体的には、ランガサイト型圧電結晶の形状制御単結晶が育成可能な特殊合金坩堝を作成し、デバイス形状である平板状およびチューブ状のランガサイト型圧電結晶の育成技術を確立した。本技術は、自動車エンジンの燃焼効率を改善可能な燃焼圧センサ用圧電結晶素子の製造コスト低減に大きく寄与するものと思われる。