パルス磁場を用いた磁気力顕微鏡探針の保磁力検査システム

研究課題

研究責任者	木下幸則秋田大学, ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー, 特任助教
研究期間 (年度)	2012 – 2013
合計額	1,690,000円
概要	先端磁性材料・磁気デバイスの性能評価に広く用いられている磁気力顕微鏡では高保磁力磁性探針の保磁力評価が測定精度を向上させる上で極めて重要である。本研究開発では、高パルス電磁石を設計・製作し、これを市販の磁気力顕微鏡に組込み、磁場印可時の探針振動の位相変化から探針の保磁力を簡便かつ高精度に評価するシステムを構築した。保磁力評価の目標値➀上限値20kOe、➁精度±5Oe に対し、上限値約27 kOe、精度±10 Oe を達成し、市販の磁気力探針はほぼ全て評価可能となった。本成果を応用すれば、新たな需要の見込まれるソフト磁性探針(低保磁力探針)の磁気特性の評価手法の開発も可能と考えられる。