ハーフメタル合金素子作製のための超高真空加熱・成膜制御システムの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開復興促進プログラム A-STEP シーズ顕在化タイプ

企業責任者	アルバックテクノ株式会社
研究責任者	大兼幹彦東北大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013