量子ドット増感型超高効率太陽電池実用化のための革新的成膜技術の開発
| 研究責任者 |
野瀬 正照 富山大学, 芸術文化学部, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2012 – 2013
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| 概要 | (1)装置自体の開発と(2)Ge/TiO2複相構造膜の開発を同時並行で実施した。(1)については、左右チャンバー間のクロスコンタミネーションを更に減少させる改良を行い、目標には届かなかったものの従来10-4台であった酸素分圧を10-5台に低下させることができた【70%】。(2)については、TiO2相中にGeの微粒子を分散させたナノグラニュラー膜の作製を目指したが、実現できなかった。しかし、TiO2とGeのナノ積層膜の作製には成功し、成膜直後の膜をXPS分析したところ、Ge酸化物のピークはほとんど検出されなかった。さらに、Ar雰囲気下での熱処理により、透過光スペクトルのオンセット(吸収端に相当)については目標値の1.4eVを達成した【60%】。(【 】内の数字は目標達成度)
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