| 研究責任者 |
福垣内 学 奈良県工業技術センター, 機械・電子・情報技術チーム, 主任研究員
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| 研究期間 (年度) |
2012 – 2013
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| 概要 | UBMS法を用いて成膜したCr-N系皮膜のCrサイトにAlを、NサイトにOを固溶置換することによって膜の硬質化を目指した結果、Alが固溶置換していないCr-N-O系の皮膜では最大34GPaの高硬度を示し、酸素分圧1～2mPaにて成膜した皮膜では緻密な微細構造を呈していた。超硬基板との密着性向上を図るため、Cr、Al、Siの単層膜もしくはCrの多層膜で形成された中間層の挿入効果について検証した。アルミボール(A5052)による摩擦摩耗試験の結果、中間層を挿入していない皮膜の摩擦係数は0.79であったが、Siで中間層を形成した皮膜の摩擦係数は0.30まで減少し、良好な結果が得られた。衝撃荷重に対する密着性はCrを挿入したものが最も良好であった。
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