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大口径ガラス基盤の屈折率分布計測・検査装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 喜入 朋宏  宇都宮大学, 学内共同利用施設等, 研究員
研究期間 (年度) 2012 – 2013
概要フィルター等の光学ガラス板の製品検査を目的とした屈折率分布計測法を開発した。大サイズの基盤を高速に測定する。生産現場に導入することを考慮し、光源と検出器を近接させた省スペースな計測器を構築した。2次元ロンキー格子を用いた軸外し微分干渉法を考案し、得られたタルボ像にフーリエ変換解析を施すことで、ワンショット、ミリ秒オーダーで屈折率分布を計測できる。球面波を用いて精度確認実験を行った結果、目標の1/4λよりはるかに良い1/30λの精度を実証した。50mm 角のガラス板をサンプルとして計測実験をし、1/100,000 以上の屈折率変化を確認した。今回は、製品化への基礎技術を確立することができた。今後は、実用化に向けた開発を行う。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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