固体高分子形燃料電池用ステンレス鋼製セパレータのための高耐腐食性InGaN皮膜技術の開発

研究課題

研究責任者	杉田憲一福井大学, 産学官連携本部, 研究員
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	これまでに得た、成膜装置(MOCVD法)による2cm角の平坦なステンレス鋼へのIII族窒化物の成膜技術を基に、10cm角の凹凸加工ステンレス鋼に耐腐食性に優れた皮膜材料を製膜する技術を開発する。ステンレス鋼の凹凸部分も均一に成膜するために、ステンレス鋼の凹凸に合わせて成膜装置の基板ホルダー(サセプタ)の形状を凹凸にするとともに、原料ガスの凹凸部分への均一拡散を促進するために、原料ガスの吹き出し口を改造する。この技術の確立により、高分子燃料電池のセパレータ材料をカーボンからステンレス鋼に置き換えることができ、コストが安く、振動、耐腐食性に強い部材を供給することができる。