| 研究責任者 |
保坂 純男 群馬大学, 大学院工学研究科, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2012 – 2013
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| 概要 | 本研究開発は、ブロックコーポリマーによる自己組織化法を用いて形成した微小ドット列をマスクとして磁気ドット列をイオンビーム加工法により実現することを目標に行った。目標は、磁気ドット径:10nm以下、ドットピッチ:約12nm、高さ:10nmである。実験の結果、自己組織化法、多層レジスト法およびイオンミリング法を用いた微小磁気ドット形成技術を確立した。PDMS微小ドットを、Si膜、C膜に転写し、最終的には、Cドット列を形成し、これをマスクとしてイオンミリングで10nm径以下のCoPt磁気ドット列を形成することができた。さらに、低分子量のPS-PDMSブロックポリマーを使用することにより5nm前後の磁気ドット形成が可能であることが分かった。
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