| 概要 | 磁気力顕微鏡(MFM)の高性能化を目的に、 市販MFM探針で得られる分解能の約3倍の高分解能(<7 nm)で1kOe以上の高磁化反転特性を持つMFM磁性探針の形成技術を検討した。 Si探針に高磁気異方性の磁性材料被覆を行って磁性探針を作製する手法を検討した。被覆膜として、(a)多層磁性膜、(b)規則合金薄膜、(c)準安定規則合金薄膜、および(d)従来から磁性探針作製に用いられてきたCo合金などの磁性膜を検討した。準安定規則合金膜のL11-CoPt膜被覆した探針で分解能7.7 nm, 反転磁界1.7 kOeを確認した。一連の磁性材料と探針特性の相関性を検討し、高分解能・高反転磁界特性を持つMFM磁性探針の開発指針を明らかにした。
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