電子回折による短時間計測・高精度三次元逆格子マッピング法の開発

研究課題

研究責任者	服部賢奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	デバイス用ナノ構造体の結晶構造や配向、歪み評価などに威力を発揮する三次元逆格子マップ作成を、電子回折を用いて短時間で精度良く行う手法を開発する。三次元逆格子マップ作成にX線回折では数ヶ月以上必要とする計測時間を、本手法では数十分に短縮することができる。現在、本手法で結晶構造の判別や複雑な配向を明らかにしてきているが、開発前の装置ではその歪み評価精度が約1%と大きかった。本課題では、実用化に向け0.1%の精度を目標とし、装置の改良により0.1%以下の精度を得ることができた。今後、実用化に必要な0.01%以下での精度と同時に、一般ユーザー向けに結晶構造や配向、歪み評価の自動解析プログラムの開発をも目指す。