ハイアスペクト形状の精密座標測定を可能とする回転振動型ハイアスペクトタッチプローブの開発

研究課題

研究責任者	西嶋隆岐阜県工業技術研究所, 機械部, その他
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	本開発は三次元測定機や機上測定に代表される、精密座標測定に用いるタッチプローブのハイアスペクト化に関する。タッチプローブは細長い形状程、測定可能な領域が増える一方、測定力によるプローブ撓みの影響のため、一般的にハイアスペクト化が困難である。本研究では、タッチプローブ先端にサブミクロン程度の径で円周運動する振動モードを生成し、接触による振動変化により高感度に接触を検出するハイアスペクト形状の超音波タッチプローブを開発した。具体的には、目標形状の先端径1.0mm、プローブ軸径0.7mm、長さ50mmのプローブ形状で、接触検出位置の繰り返し精度(2シグマ)が1.3マイクロメートルの結果を得た。