定量測定可能な駆動機構付き摩擦力顕微鏡用マイクロプローブ

研究課題

研究責任者	福澤健二名古屋大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	走査型プローブ顕微鏡の一種である摩擦力顕微鏡は、ナノメートル分解能で摩擦特性の分布を可視化でき、学術・産業両分野で広く用いられている。しかし、従来のプローブ(力センサ)では、その構造から定量測定が原理的に困難で、定性的な可視化法にとどまっていた。そこで、課題を克服する新しい構造のマイクロプローブを考案し原理確認に成功した。さらに、静電駆動機構を付与することで高速摺動時の動的測定も実現した。しかしながら、これまでのプローブ作製法は、制御性が乏しく実用化の障害となっていた。本研究では、本測定法の実用化をねらいに、制御性に優れかつ量産に適した作製法の確立を目的として、ドライエッチング(深堀り型反応性イオンエッチング(Deep-RIE))と絶縁膜埋め込み型シリコン(SOI: Silicon On Insulator)基板を組み合わせた新規な作製法を試み、構造形成と駆動動作の原理確認に成功した。