高速作動が可能で安価な非破壊検査用テラヘルツ波ラインセンサーの開発

研究課題

研究責任者	谷正彦福井大学, 遠赤外領域開発研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	本課題ではチェレンコフ型位相整合ヘテロダイン検出による電気光学サンプリング(H-EOS)法を用いた非破壊検査用THz波ラインセンサー技術を開発することを目標とした。H-EOS検出において、 THz波の各周波数成分がサンプリングビーム軸に対して角度分解検出されることを利用して、時間遅延走査なしにTHz波スペクトルを分解検出できる手法を発案、実証した。CCDやCMOSカメラを用い、空間水平方向に周波数分布を検出し、空間垂直方向に試料の位置情報をリアルタイムに測定するTHz分光ラインセンサーを実現できる。今後は、周波数分解能の向上、信号対雑音比の改善を行い、薬の錠剤製造ラインなどへの実装を目指す。