自己組織化単分子膜(SAM)を応用した銀ナノ粒子の固定化及び微細配線パターン作製技術の開発

研究課題

研究責任者	濱口裕昭あいち産業科学技術総合センター, 産業技術センター化学材料室, 主任
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	基板上にアミノ基を有するSAMを形成することで金属ナノ粒子を固定化することができた。金属ナノ粒子は表面電位がマイナスであり、静電相互作用によりアミノ基と吸着している。またSAMへの吸着量は銀ナノ粒子を用いた場合より、金ナノ粒子を用いた場合の方が多く、AFM像より金ナノ粒子はナノ粒子数個が凝集した状態で付着していると考えられる。フォトマスクを介して紫外線を照射することによりSAMのパターンを作製し、それをもとに銅めっきパターンの作製を行った結果、20μm程度の線幅のパターンが安定して作製できた。また部分的ではあるが5μm程度のパターンも作製できており、今後、パターンの高精細化に取り組むことにより、更なる微細パターンを作製できる可能性を見出した。