ナノカーボンハイブリッドを用いた高効率フッ素貯蔵デバイスの研究開発

研究課題

研究責任者	服部義之信州大学, 繊維学部, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	本研究開発では、CNHのフッ素吸蔵・放出に伴う熱エネルギーを制御する要素技術を確立することにより、CNH単位重量あたり50 wt%のフッ素ガスを吸蔵し、純度99%以上で吸蔵フッ素を100%放出する貯蔵デバイスの開発を目指した。熱媒体によるCNHのハイブリッド化により、放出熱エネルギーを制御し、フッ素放出率を最大20%向上することに成功した。またフッ素吸蔵量は48 wt%、放出フッ素の純度は90%以上、放出量は80%を達成した。今後はフッ素ガスの利用分野を液晶・太陽電池パネル製造用エッチングガスに設定し、当該分野の要求仕様を満足するレベルの高純度フッ素であることを精密に解析し検証する。また連携予定企業とともに、実用化段階で要請される100 L/hのフッ素ガス供給が可能なシステムに向け、スケールアップに必要な要素技術を抽出する。