FIB/MEMS融合技術による単層グラフェンの機械物性定量計測法の開発

研究課題

研究責任者	生津資大兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	単層グラフェンの機械的特性定量計測実現のため、サンプリング技術ならびに引張MEMSデバイス開発を実施した。FIB加工ならびにデポ機能を用いてTEMグリッド上に塗布したグラファイトを試験片化してMEMSデバイス上に貼り付けることで引張試験は実現したが、そのグラフェン化やダメージフリー化は技術的に困難であった。また高精度の荷重・変位計測および機械物性と電気物性の同時計測を実現する新たな引張MEMSデバイスの設計を完了した。本研究期間中の目標達成度は50%程度である。今回得られた知見をもとに、今後、グラフェンシートのダメージフリーサンプリング技術を確立し、新デバイスを用いて単層グラフェンの機械・電気物性の定量計測技術実現に挑む。