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MEMS駆動用オンチップバッテリーの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 栗山 一男  法政大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度) 2012 – 2013
概要本研究は、申請者らが2002年に発表した(Appl.Phys.Lett.81,5066(2002)) 100×200ミクロン平方並列構造リチウム2次電池を単一化しようとするものであり、シリコン基板内の300ミクロン平方、深さ1.6ミクロンの溝に、『ポリシリコン負極 / ポリメタル酸メチル樹脂(PMMA)固体電解質 / LiMn2O4正極』構造の単一構造電池を試作した。充電電流3 nA、放電電流10 pAに対し3.70 nAh/cm2の容量を有している。また、新しい正極材料としてLi8SiN4及びLi5SiN3を作成し、電池動作を確認した。本研究結果によってシリコンLSIに微小電池を埋め込むことによりMEMS(微小電気機械システム)駆動用電源の基礎を確立した。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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