自己組織化を利用した低コストなフレキシブル紫外線センサ作製法の開発

研究課題

研究責任者	廣芝伸哉名古屋工業大学, 大学院工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	本研究では、低温プロセスで大面積、高感度なフレキシブルデバイス作製の為に、自己組織化によるナノ構造作製を要素技術としての確立を目標とした。自己組織化材料を用いた、低温プロセスで規則正しいナノ配列構造作製に成功した。基板上に酸化物半導体ナノ結晶を配列させ、その応用例としてUVセンサを作製し評価を行った。その結果、良好なp-n特性を確認しUVセンサとして動作することも実証した。これらの成果報告後、企業側からUVセンサよりもアクチュエータに対する高いニーズが判明し、期間内にアクチュエータへ向けた試作も行った。今後は、企業等と共同で本研究の成果を用いたこれらのデバイス作製の要素技術開発をより進める予定である。