高効率かつ低コストな次世代リソグラフィー光源開発のための評価技術の確立

研究課題

研究責任者	富田健太郎九州大学, 大学院総合理工学研究院, 助教
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	次世代の半導体リソグラフィー用光源として期待される極端紫外(EUV)光源は、現状では使用する光の波長13.5 nmの発光効率が低く、実用化の障害となっている。EUV光の効率向上には、発光効率を支配するEUV光源用プラズマの電子温度や電子密度、イオン密度の計測を行う必要がある。本課題ではトムソン散乱法による、EUV光源用プラズマの電子密度・電子温度・イオン密度計測を試みた。様々なノイズ信号を除去し、微弱なトムソン散乱信号を検出するために、新たに高波長分解能分光器を作製した。これにより、トムソン散乱スペクトルを十分な精度で観測し、各パラメータの決定を可能とした。