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高効率かつ低コストな次世代リソグラフィー光源開発のための評価技術の確立

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 富田 健太郎  九州大学, 大学院総合理工学研究院, 助教
研究期間 (年度) 2012 – 2013
概要次世代の半導体リソグラフィー用光源として期待される極端紫外(EUV)光源は、現状では使用する光の波長13.5 nmの発光効率が低く、実用化の障害となっている。EUV光の効率向上には、発光効率を支配するEUV光源用プラズマの電子温度や電子密度、イオン密度の計測を行う必要がある。本課題ではトムソン散乱法による、EUV光源用プラズマの電子密度・電子温度・イオン密度計測を試みた。様々なノイズ信号を除去し、微弱なトムソン散乱信号を検出するために、新たに高波長分解能分光器を作製した。これにより、トムソン散乱スペクトルを十分な精度で観測し、各パラメータの決定を可能とした。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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