| 研究責任者 |
高比良 裕之 大阪府立大学, 工学研究科, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2012 – 2013
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| 概要 | 本課題では、液体中にパルスNd:YAGレーザを集束させることにより、レジスト基板近傍にレーザ誘起気泡を生成し、レーザブレイクダウンと気泡崩壊がレジストの剥離に及ぼす影響を検討した。高速度ビデオカメラによる気泡崩壊挙動の観測、微小高速応答圧力計による衝撃圧と力積の計測、ならびにGhost Fluid法による数値解析を通して、洗浄技術開発のための以下の知見を得た。(1) 基板からの気泡中心までの距離をL、レーザ誘起気泡の最大半径をRmaxとするとき、約L/Rmax=1.2以下の場合は、レジストの剥離が観測された。(2) 気泡崩壊時の衝撃波による最大圧力と力積は、レーザブレイクダウン時の衝撃波による最大圧力と力積と同程度であり、両者の洗浄および剥離及ぼす力学的な効果は同程度と考えられる。(3) レジスト剥離の主要因は、レーザブレイクダウンによる温度上昇と考えられる。
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