| 概要 | ミリ波通信やプリクラッシュ・セーフティーシステムに求められている低誘電率・高品質係数 Q (Qf)・温度特性TCfのよい誘電体材料の研究開発を行った。コーディエライトの結晶化ガラスを作製したところ、誘電率4.7、Qfが200,000GHz以上、TCf -27 ppm/°Cの優れた特性が得られた。しかし、変形やクラックが生じ、良好な結晶化ガラスが得られていない。本申請課題で、これらの変形やクラックを克服して、ミリ波誘電特性の優れた低誘電率(εr =6.0)・高Q (Qf = 100,000 GHz)・温度特性(TCf = ±20 ppm/°C)に優れたガラスセラミックス基板を作製した。
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