大きな機械衝撃耐性と感度をもつマイクロMEMSジャイロスコープの研究

研究課題

研究責任者	鈴木健一郎立命館大学, 理工学部, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	ジャイロスコープは物体の傾きや回転運動を検出するセンサであり、運動制御システムでは必須のデバイスである。近年急速にその応用が拡大している振動型MEMSジャイロスコープは、その低い感度を補うために機械衝撃耐性を低く設計しなければならないことが最大の課題である。本研究は、かかる課題を解決するのに適したばね設計と検出回路の評価を行い、1)ばね構造がジャイロスコープの非線形発生の非常に敏感な原因となること、2)デバイス検出回路の詳細な評価から、ノイズ発生の主要な原因が試作した検出回路に原因があること、を明らかにした。これらの成果は、今後、ジャイロスコープの感度を増大させるのに適したばね設計、および、ノイズが少ない簡略化された小型検出回路の開発に役立つものである。