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太陽電池用多結晶シリコン薄膜の高生産性技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 大平 圭介  北陸先端科学技術大学院大学, グリーンデバイス研究センター, 准教授
研究期間 (年度) 2012 – 2013
概要ミリ秒台の瞬間熱処理法であるフラッシュランプアニール(FLA)により、電子線(EB)蒸着により製膜した非晶質シリコン(a-Si)膜を結晶化することで、ガラス基板上に、膜厚2 μm以上、横方向に数10 μm延伸した大粒径結晶粒からなる多結晶シリコン(poly-Si)膜を得られる。このpoly-Si膜の亀裂抑止と欠陥低減について研究を行い、高圧水蒸気熱処理により、1016 /cm3台まで欠陥密度を低減できることを明らかにした。また、膜厚を変化させることにより、結晶化機構および結晶粒径が変化する現象を見出した。今後、亀裂抑止技術を確立することで、薄膜結晶Si太陽電池への応用につながると期待される。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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