室温で動作するハンディな高感度薄膜磁界センサの開発

研究課題

研究責任者	薮上信東北学院大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	伝送線路構造の薄膜磁界センサ素子を集積化し、市販の位相計測用ICと同一ユニット上に一体化し以下の成果を得た。 (1)磁性薄膜および伝送線路を一体化したセンサ素子(1mm×1mm)を開発し、100 degree/Oe以上の感度、-40dB以内の減衰を得た。 (2)上記とAD8302を用いてハンディなセンサを開発。計測器は市販のADコンバータによるPXIシステムで構成した。システムのノイズレベルは約100 pTであった。 (3)磁気シールドルーム外において市販の磁性微粒子を計測し、1 mg/l程度の磁性微粒子濃度であれば計測できた。 (4)導体製造ラインにおいて混入されるステンレス微小球(直径0.2 mm)からの漏れ磁界を計測し、直径0.2 mmの微小球から発生する漏れ磁界(約25 nT程度)が明瞭に計測できた。