マイクロ流路一体型MEMSファブリペロータンパク質センサの開発

研究課題

研究責任者	高橋一浩豊橋技術科学大学, 大学院工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	本研究では、フォトダイオード上にMEMS可動膜を形成し半導体基板とのギャップでファブリペロー干渉計を構成することによって、可動膜上に吸着させたタンパク質をストレス変化として検出するセンサの開発を行った。ファブリペローセンサ上にマクロ流路を一体化したフロー系抗原抗体反応・検出チップの構築を目指し、ファブリペローキャビティを形成する前に流路パターンを完成させ、流路とエッチングホールを分離させた構造を新たに考案した。また、BSA抗体と抗原をそれぞれ含む液の滴下を行い、BSA分子質量10fg程度を吸着させ、可動膜の機械的な損傷がないことを確認するとともに、表面応力の変化を確認した。さらにセンサのアレイ化を目指し、CMOSイメージセンサ回路との集積化を行った。センサへ入射する光強度を受光感度のよい635 nmの波長を用いた実験において、最大1.1 Vの出力電圧の変化が得られた。