フェムト秒レーザーによるナノ格子の大面積形成と微細化技術の開発

研究課題

研究責任者	宮崎健創京都大学, エネルギー理工学研究所, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	本研究の目的は、大気中において誘電体の表面に間隔50-200 nmの均一なナノ格子を加工できるレーザープロセッシング法を開発することである。フェムト秒(fs)レーザーの2ビーム干渉で予備加工した表面を、表面プラズモン・ポラリトン(SPP)の周期近接場でダウンサイジングすることによって、格子間隔200 nm以下の完全ナノ格子が製作できることを実証すると共に、独自モデルによりナノ格子形成の物理過程を明らかにし、大断面積ナノ格子創製の基礎技術を開発した。また、この2ステップアブレーション法を用いて格子間隔50 nm以下への微細化を実現し、簡便なナノ格子創製基礎技術を確立した。